扩散 &LP 自动化是一款将未工艺硅片从花篮取出插入到石英舟中, 并将工艺后硅片插回花篮的设备。
1. 结构设计合理,产能高,尺寸小
2. 吸盘板采用碳纤维材质,不易变形,质量更轻,机器人寿命更久
3. 舟定位夹紧力可参数调节,是否到位可反馈报警
4. 高握持力皮带减少皮带跑偏,柔性覆膜减少皮带印
5. 上料具有半片补片功能,杜绝因单轨缺片导致的大饼片